| Rang | Name | Einw. 1990 | Einw. 2000 | Einw. 2005 | Fläche | Ew./Km² | Wachstum % | Land | Großstadt seit |
| 1 | Berlin | 3433695 | 3382169 | 3395189 | 891.85 | 3807 | 0,06 | Berlin | 1740 |
| 2 | Hamburg | 1652363 | 1715392 | 1743627 | 755.16 | 2309 | 0,27 | Hamburg | 1787 |
| 3 | München | 1229026 | 1210223 | 1259677 | 310.40 | 4057 | 0,68 | Bayern | 1854 |
| 4 | Köln | 953551 | 962884 | 983347 | 405.15 | 2427 | 0,35 | Nordrhein-Westfalen | 1855 |
| 5 | Frankfurt am Main | 644865 | 646550 | 651899 | 248.31 | 2625 | 0,14 | Hessen | 1875 |
| 6 | Stuttgart | 579988 | 583874 | 592569 | 207.36 | 2858 | 0,25 | Baden-Württemberg | 1874 |
| 7 | Dortmund | 599055 | 588994 | 588168 | 280.39 | 2098 | -0,02 | Nordrhein-Westfalen | 1895 |
| 8 | Essen | 626973 | 595243 | 585430 | 210.38 | 2783 | -0,27 | Nordrhein-Westfalen | 1896 |
| 9 | Düsseldorf | 575794 | 569364 | 574514 | 217.01 | 2647 | 0,15 | Nordrhein-Westfalen | 1882 |
| 10 | Bremen | 551219 | 539403 | 546852 | 325.42 | 1675 | 0,23 | Bremen | 1875 |
| 11 | Hannover | 513010 | 515001 | 515729 | 204.01 | 2377 | 0,02 | Niedersachsen | 1873 |
| 12 | Leipzig | 511079 | 493208 | 502651 | 297.60 | 1689 | 0,32 | Sachsen | 1871 |
| 13 | Duisburg | 535447 | 514915 | 501564 | 232.81 | 2154 | -0,43 | Nordrhein-Westfalen | 1904 |
| 14 | Nürnberg | 493692 | 488400 | 499237 | 186.40 | 2679 | 0,37 | Bayern | 1881 |
| 15 | Dresden | 490571 | 477807 | 495181 | 328.30 | 1508 | 0,61 | Sachsen | 1852 |
| 16 | Bochum | 396486 | 391147 | 385626 | 145.44 | 2652 | -0,24 | Nordrhein-Westfalen | 1904 |
| 17 | Wuppertal | 383660 | 366434 | 359237 | 168.39 | 2134 | -0,33 | Nordrhein-Westfalen | 1885 |
| 18 | Bielefeld | 319037 | 321758 | 326925 | 257.85 | 1268 | 0,27 | Nordrhein-Westfalen | 1929 |
| 19 | Bonn | 292234 | 302247 | 312818 | 141.22 | 2215 | 0,58 | Nordrhein-Westfalen | 1934 |
| 20 | Mannheim | 310411 | 306729 | 307900 | 144.96 | 2124 | 0,08 | Baden-Württemberg | 1897 |
| 21 | Karlsruhe | 275061 | 278558 | 285263 | 173.46 | 1645 | 0,40 | Baden-Württemberg | 1901 |
| 22 | Wiesbaden | 260301 | 270109 | 274611 | 203.90 | 1347 | 0,28 | Hessen | 1905 |
| 23 | Münster | 259438 | 265609 | 270868 | 302.89 | 894 | 0,33 | Nordrhein-Westfalen | 1915 |
| 24 | Gelsenkirchen | 293714 | 278695 | 268102 | 104.86 | 2557 | -0,63 | Nordrhein-Westfalen | 1903 |
| 25 | Augsburg | 256877 | 254982 | 262676 | 146.86 | 1790 | 0,50 | Bayern | 1907 |
| 26 | Mönchengladbach | 259436 | 263014 | 261444 | 170.45 | 1534 | -0,10 | Nordrhein-Westfalen | 1922 |
| 27 | Aachen | 241861 | 244386 | 258208 | 160.83 | 1605 | 0,94 | Nordrhein-Westfalen | 1889 |
| 28 | Chemnitz | 294244 | 259246 | 246587 | 220.86 | 1117 | -0,81 | Sachsen | 1883 |
| 29 | Braunschweig | 258833 | 245816 | 245273 | 192.13 | 1277 | -0,04 | Niedersachsen | 1890 |
| 30 | Krefeld | 244020 | 239916 | 237701 | 137.76 | 1726 | -0,18 | Nordrhein-Westfalen | 1887 |
| 31 | Halle (Saale) | 310234 | 247736 | 237198 | 135.01 | 1757 | -0,71 | Sachsen-Anhalt | 1890 |
| 32 | Kiel | 245567 | 232612 | 234433 | 118.40 | 1980 | 0,13 | Schleswig-Holstein | 1898 |
| 33 | Magdeburg | 278807 | 231450 | 229126 | 200.95 | 1140 | -0,20 | Sachsen-Anhalt | 1882 |
| 34 | Oberhausen | 223840 | 222151 | 218898 | 77.04 | 2841 | -0,24 | Nordrhein-Westfalen | 1915 |
| 35 | Freiburg im Breisgau | 191029 | 205102 | 215966 | 153.06 | 1411 | 0,88 | Baden-Württemberg | 1934 |
| 36 | Lübeck | 214758 | 213399 | 211825 | 214.13 | 989 | -0,12 | Schleswig-Holstein | 1911 |
| 37 | Erfurt | 208989 | 200564 | 202844 | 269.12 | 754 | 0,19 | Thüringen | 1906 |
| 38 | Rostock | 248088 | 200506 | 199288 | 181.44 | 1101 | -0,12 | Mecklenburg-Vorpommern | 1935 |
| 39 | Hagen | 214449 | 203151 | 196934 | 160.36 | 1228 | -0,51 | Nordrhein-Westfalen | 1928 |
| 40 | Kassel | 194268 | 194766 | 194427 | 106.78 | 1820 | -0,03 | Hessen | 1899 |
| 41 | Mainz | 179486 | 182870 | 194372 | 97.74 | 1988 | 1,05 | Rheinland-Pfalz | 1902 |
| 42 | Hamm | 179639 | 182427 | 184239 | 226.24 | 814 | 0,17 | Nordrhein-Westfalen | 1975 |
| 43 | Saarbrücken | 191694 | 183257 | 178914 | 167.07 | 1071 | -0,39 | Saarland | 1909 |
| 44 | Herne | 178132 | 174529 | 170992 | 51.41 | 3326 | -0,34 | Nordrhein-Westfalen | 1933 |
| 45 | Mülheim an der Ruhr | 177681 | 172862 | 169917 | 91.29 | 1861 | -0,28 | Nordrhein-Westfalen | 1908 |
| 46 | Osnabrück | 163168 | 164101 | 163814 | 119.80 | 1367 | -0,03 | Niedersachsen | 1940 |
| 47 | Solingen | 165401 | 164973 | 163581 | 89.46 | 1832 | -0,14 | Nordrhein-Westfalen | 1929 |
| 48 | Ludwigshafen am Rhein | 162233 | 163383 | 163343 | 77.68 | 2103 | 0,00 | Rheinland-Pfalz | 1921 |
| 49 | Leverkusen | 160919 | 161047 | 161227 | 78.85 | 2045 | 0,02 | Nordrhein-Westfalen | 1963 |
| 50 | Oldenburg | 143131 | 154832 | 158565 | 102.96 | 1540 | 0,40 | Niedersachsen | 1946 |
| 51 | Neuss | 147019 | 150013 | 151610 | 99.48 | 1524 | 0,18 | Nordrhein-Westfalen | 1963 |
| 52 | Potsdam | 139794 | 129324 | 147583 | 187.29 | 788 | 0,82 | Brandenburg | 1939 |
| 53 | Paderborn | 120680 | 139084 | 143769 | 179.39 | 801 | 0,56 | Nordrhein-Westfalen | 1975 |
| 54 | Heidelberg | 136796 | 140259 | 142993 | 108.83 | 1314 | 0,32 | Baden-Württemberg | 1946 |
| 55 | Darmstadt | 138920 | 138242 | 140562 | 122.23 | 1150 | 0,28 | Hessen | 1937 |
| 56 | Würzburg | 127777 | 127966 | 133906 | 87.63 | 1529 | 0,77 | Bayern | 1932 |
| 57 | Regensburg | 121691 | 125676 | 129859 | 80.68 | 1608 | 0,55 | Bayern | 1940 |
| 58 | Göttingen | 121831 | 124132 | 121884 | 117.27 | 1039 | -0,30 | Niedersachsen | 1964 |
| 59 | Recklinghausen | 125060 | 124785 | 121827 | 66.43 | 1834 | -0,40 | Nordrhein-Westfalen | 1949 |
| 60 | Heilbronn | 115843 | 119305 | 121613 | 99.88 | 1218 | 0,32 | Baden-Württemberg | 1970 |
| 61 | Ingolstadt | 105489 | 115722 | 121314 | 133.35 | 910 | 0,81 | Bayern | 1989 |
| 62 | Wolfsburg | 128510 | 121805 | 121199 | 204.02 | 594 | -0,08 | Niedersachsen | 1972 |
| 63 | Ulm | 110529 | 117233 | 120625 | 118.69 | 1016 | 0,48 | Baden-Württemberg | 1980 |
| 64 | Offenbach am Main | 114992 | 117535 | 119430 | 44.90 | 2660 | 0,27 | Hessen | 1954 |
| 65 | Bottrop | 118936 | 120611 | 119356 | 100.61 | 1186 | -0,17 | Nordrhein-Westfalen | 1953 |
| 66 | Pforzheim | 112944 | 117156 | 119021 | 98.03 | 1214 | 0,27 | Baden-Württemberg | 1975 |
| 67 | Bremerhaven | 130446 | 120822 | 116615 | 78.86 | 1501 | -0,58 | Bremen | 1939 |
| 68 | Remscheid | 123155 | 119287 | 115864 | 74.60 | 1553 | -0,48 | Nordrhein-Westfalen | 1929 |
| 69 | Fürth | 103362 | 110477 | 113422 | 63.35 | 1790 | 0,44 | Bayern | 1950 |
| 70 | Reutlingen | 103687 | 110650 | 112252 | 87.06 | 1289 | 0,24 | Baden-Württemberg | 1988 |
| 71 | Salzgitter | 114355 | 112302 | 107726 | 223.90 | 481 | -0,68 | Niedersachsen | 1942 |
| 72 | Moers | 104595 | 107062 | 107547 | 67.69 | 1587 | 0,08 | Nordrhein-Westfalen | 1987 |
| 73 | Koblenz | 108733 | 107950 | 106501 | 105.02 | 1014 | -0,22 | Rheinland-Pfalz | 1962 |
| 74 | Siegen | 109174 | 108476 | 106293 | 114.67 | 927 | -0,34 | Nordrhein-Westfalen | 1975 |
| 75 | Bergisch Gladbach | 104037 | 105693 | 105761 | 83.12 | 1272 | 0,01 | Nordrhein-Westfalen | 1977 |
| 76 | Cottbus | 125891 | 108491 | 105309 | 164.28 | 641 | -1,22 | Brandenburg | 1976 |
| 77 | Gera | 129037 | 112835 | 103948 | 151.92 | 684 | -1,31 | Thüringen | 1959 |
| 78 | Erlangen | 102440 | 100778 | 103197 | 76.82 | 1343 | 0,40 | Bayern | 1974 |
| 79 | Hildesheim | 105291 | 103909 | 102575 | 92.17 | 1108 | -0,21 | Niedersachsen | 1974 |
| 80 | Jena | 102518 | 99893 | 102532 | 114.48 | 896 | 0,44 | Thüringen | 1975 |
| 81 | Witten | 105403 | 103196 | 100793 | 72.37 | 1393 | -0,39 | Nordrhein-Westfalen | 1975 |